Характеристики:

1) Скоростта на азотиране е по-бърза, цикълът на азотиране може да бъде съкратен по подходящ начин, а времето за йонно азотиране може да бъде съкратено до 1/3-2/3 от времето за газово азотиране.

2) Крехкостта на азотиращия слой е малка, а белият слой, образуван върху повърхността на плазменото азотиране, е много тънък или дори никакъв. Освен това, деформацията, причинена от азотиращия слой, е малка, което е особено подходящо за прецизни части със сложни форми.

3) Може да се спести консумацията на енергия и амоняк. Консумацията на електроенергия е 1/2-1/5 от тази при газово азотиране, а консумацията на амоняк е 1/5-1/20 от тази при газово азотиране.

4) Лесно е да се осъществи локално азотиране, стига частта, която не иска азотиране, да не произвежда сияние, неазотираната част е лесна за защита, а сиянието може да бъде защитено чрез механично екраниране и желязна плоча.

5) Йонното бомбардиране може да пречисти повърхността и автоматично да премахне пасивационния филм. Неръждаемата стомана и топлоустойчивата стомана могат да бъдат азотирани директно, без предварително отстраняване на пасивационния филм.

6) Структурата на сложен слой, дебелината на инфилтрационния слой и структурата могат да бъдат контролирани.

7) Температурният диапазон на обработка е широк и определена дебелина на азотиращия слой може да се получи дори под 350°C.

8) Условията на труд са подобрени. Обработката с плазмено азотиране без замърсяване се извършва под много ниско налягане с много малко отработени газове. Източникът на газ е азот, водород и амоняк и на практика не се произвеждат вредни вещества.

9) Може да се прилага върху всякакви материали, включително неръждаема стомана, топлоустойчива стомана с висока температура на азотиране, инструментална стомана и прецизни части с ниска температура на азотиране, докато нискотемпературното азотиране е доста трудно за газово азотиране.